滨松“指尖”MEMS-FTIR驱动元件让掌上光谱仪不是梦

　　“台式”变“掌上”

　　FTIR光谱仪（傅里叶转换红外光谱）是操作红外光谱经傅里叶转换来阐明杂质浓度的光谱阐明仪器，可用于气体、液体的阐明等。传统的FTIR光谱仪固然具有无需操作昂贵的图像传感器的利益，但因其需要高度精准的光学分光仪，所以设备往往是较量大并且昂贵的台式仪器，这便很洪流平上限制了设备的应用。“更小尺寸”也就成为FTIR光谱仪成长的一个重要技能话题。

　　而说到“微小”则让人想到了MEMS（微机电系统）技能，它将微电子技能与机器工程相融合，可实现操纵范畴的在微米范畴内。假如把这项技能融合在FTIR光谱仪之中，“台式”变“掌上”应该就不可是个梦了。

　　颠末重重技能困难的攻陷，滨松公司终于实现了这一构思，乐成开拓出滨松MEMS-FTIR产物。其操作专有的MEMS技能（半导体质料的三维紧密加工的尖端技能），在硅晶片上来制造所有的光学分光元件，最终在只有指尖那么大MEMS-FTIR驱动元件上，实现所有所需的光学成果，在这个超小型MEMS-FTIR焦点驱动原件基本之上，滨松最终研制出了“掌上”MEMS-FTIR光谱仪。

　　滨松MEMS-FTIR驱动元件

　　与“掌上”MEMS-FTIR光谱仪C12606 （75x100x27mm）

　　MEMS技能的选择

　　MEMS是通过一个硅晶片和半导体技能实现的具有最小尺寸的精练的机器组件。硅晶片级的一致流程可实现MEMS的批量出产。基于硅技能，其在高弹性和高抗逆性上具明明的机器优势。而集成电路则使其可以等闲得到多种成果。另外，曝光引起的物理负荷亦可被忽略，所以是MEMS驱动器的最佳选择。

　　滨松MEMS-FTIR把一个迈克逊过问干与仪以及一个节制移动镜面的触动器高度细密地集成在了一个硅晶片级此外封装中，一条接管入射光的光纤直接通过被动瞄准毗连到MEMS芯片上，这样大幅的低落了组装本钱。而通过DRIE(深回响离子刻蚀)，MEMS-FTIR驱动元件的每个光学组件的相对位置十分准确，公差不大于1μm，组装后无需举办任何的光学调解。

　　滨松MEMS-FTIR 光谱仪C12606

　　以及驱动原件内部结构

　　迈克逊过问干与仪的所有光学组件都在硅制造的壁面上形成。分束器通过操作硅与氛围之间折射率的庞大差别，将入射光束凭据菲涅尔反射（反射30%；透射70%）支解。移动镜面安排在静电驱动器和牢靠镜面上，其每个外貌都通过蒸镀形成金属层，这形成了具有高反射率（高于98%）的全反射镜面。

　　迈克逊过问干与仪SEM图像